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產(chǎn)品分類 品牌分類

氣體分析儀

甲烷分析儀可調(diào)諧二極管激光分析儀紫外分析儀熱導(dǎo)分析儀硫分析儀氮氧化物/氨氣分析儀氮氣分析儀紅外分析儀水分分析儀碳?xì)浠衔锓治鰞x 氣相色譜儀
水質(zhì)分析儀表

4080型-水中總碳?xì)浞治鰞x
氧氣分析儀

3000PA氧氣分析儀 3000MB氧氣分析儀 LC-450A氧氣分析儀
臭氧及相關(guān)設(shè)備

尾氣臭氧濃度儀單/多通道排氣臭氧濃度儀 452臭氧傳感器 470水中臭氧濃度儀高濃度臭氧分析儀

產(chǎn)品簡介

OG系列臭氧發(fā)生器采用電暈放電原理，產(chǎn)生高濃度臭氧氣體。

詳細(xì)介紹

應(yīng)用：CVDALD氧化物生長表面處理濕刻顆粒清潔光阻去除外延zui大臭氧產(chǎn)量：OG-5000-A 210g/hr OG-5000-B 150g/hr氧氣純度要求：6個9或更高氮氣要求：5個9或更高進(jìn)氣流量：0.5-20slpm臭氧出口壓力：15-40psi運行環(huán)境溫度：5-35度冷卻水溫度：20+—3度冷卻水流量：1-1.2gpm at 60psi冷卻水品質(zhì)：半導(dǎo)體級

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