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1928年德國人研制成功第一臺超聲波流量計，超聲波流量計至今已有75年歷史。

1955年首先應用于馬克森（MAXSON）流量計測量航空燃燒油，這是一種基于聲循環法的兩組探頭（換能器）組成的液體流量計。

1958年A.L.H-ERDRICH等人發明折射式探頭，由于他們的研究可進一步消除由于管壁的交混回響所產生的相位失真，也為管外夾裝提供了理論依據。

進入20世紀七十年代以后：

由于集成電路和鎖相環路技術的發展，使超聲波流量計得以克服以前的精確度不高，響應慢，穩定性與可靠性差等致命弱點，使實用的超聲波流量計得以發展。

近20年來特別是近10年來，基于高速數字信號的處理技術與微處理技術的快速發展，基于新型探頭材料與工藝的研究以及聲道配置與流量動力學的研究，

超聲流量測量技術取得了長足進展，顯示了強勁的技術優勢，發展勢頭迅猛。

2000年在巴西召開的國際流量測量學術會議（FLOMEK-O‘2000）上共宣讀學術論文集103篇，

其中直接涉及超聲波流量計及超聲波技術的論文20篇，約占論文總數的1/5。

在歷次國際流量學術會議上，采用超聲波流量計作為傳遞標準的文獻愈來愈多，可見超聲波流量計其潛在的巨大的生命力。