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phasics SID4-UVHR波前傳感器
  • phasics SID4-UVHR波前傳感器
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貨物所在地:上海上海市

產(chǎn)地: 法國(guó)

更新時(shí)間:2025-03-30 21:00:05

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Phasics利用其*的四波橫向剪切干涉技術(shù),在紫外波前測(cè)量提供了優(yōu)秀的解決方案。它有非常高空間分辨率(250x250測(cè)量點(diǎn))和在190-400nm范圍具有高靈敏度(0.5 nm RMS)。因此,SID4-UVHR是*適用于光學(xué)元件的特性(用于光刻技術(shù)、半導(dǎo)體…)和表面檢查(透鏡和晶片…)。由于它小巧,易于使用,能有效地適應(yīng)各種實(shí)驗(yàn)條件。

SID4-UVHR波前傳感器

Phasics利用其*的四波橫向剪切干涉技術(shù),在紫外波前測(cè)量提供了優(yōu)秀的解決方案。它有非常高空間分辨率(250x250測(cè)量點(diǎn))和在190-400nm范圍具有高靈敏度(0.5 nm RMS)。因此,SID4-UVHR是*適用于光學(xué)元件的特性(用于光刻技術(shù)、半導(dǎo)體…)和表面檢查(透鏡和晶片…)。由于它小巧,易于使用,能有效地適應(yīng)各種實(shí)驗(yàn)條件。

說(shuō)明: C:\Users\MAZHONGHUA\Desktop\圖片\sid4%20uv-hr.jpg     說(shuō)明: C:\Users\MAZHONGHUA\Desktop\圖片\optics%20metrology.png     說(shuō)明: C:\Users\MAZHONGHUA\Desktop\圖片\laser%20metrology.png

   SID4-UVHR                    光學(xué)器件測(cè)量                  自適應(yīng)光學(xué)

 

特點(diǎn):

由于其*的技術(shù)技術(shù),PhasicsSID4-UVHR波前傳感器具備以下特點(diǎn):

1.超高分辨率:250x250測(cè)量點(diǎn)

2.高靈敏度:0.5nm

3.通光孔徑大8*8mm

4.直接測(cè)量:光學(xué)元件和表面質(zhì)量

 

應(yīng)用:

SID4-UVHR紫外波前傳感器提供應(yīng)用:

紫外激光器:光束測(cè)試與校正

光學(xué)測(cè)量:UV光學(xué)測(cè)試(半導(dǎo)體…)和表面測(cè)量

 

SID4-UVHR產(chǎn)品參數(shù):

波長(zhǎng)范圍

190 - 400 nm

通光孔徑

8 x 8 mm2

空間分辨率

32 µm

采樣點(diǎn)(相位/強(qiáng)度)

250 x 250 (> 62 500 points)

相位相對(duì)靈敏度

0.5 nm RMS

相位精度

10 nm RMS

動(dòng)態(tài)范圍

 ~

采樣頻率

> 30 fps

實(shí)時(shí)分析頻率

1 fps (full resolution)

數(shù)據(jù)接口

Giga Ethernet

尺寸(w x h x l)

95 x 105 x 184 mm

重量

~900 g

 

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