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行業(yè)產(chǎn)品

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[供應]scrubber全類型-尾氣處理設備-scrubber
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  • scrubber全類型-尾氣處理設備-scrubber
貨物所在地:
江蘇蘇州市
更新時間:
2024-07-02 21:00:06
有效期:
2024年7月2日 -- 2025年1月2日
已獲點擊:
1963
在線詢價 收藏產(chǎn)品

(聯(lián)系我們,請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,謝謝!)

產(chǎn)品簡介

坐落于中國科學院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所,與德國及韓國相關(guān)企業(yè)合作,主要致力于研發(fā)及生產(chǎn)各種系列的廢氣凈化材料及尾氣處理設備,在國內(nèi)擁有獨立的知識產(chǎn)權(quán),并擁有先進的吸附劑測試平臺,目前已經(jīng)在半導體芯片制造、LED、FPD、Solar以及各科學研究所得到廣泛應用。
我司有各類專業(yè)吸附劑,吸附劑也稱吸收劑,氣體吸附分離成功與否,極大程度上依賴于吸附劑的性能,因此選擇吸附劑是確定吸附操作的首要問題。

詳細介紹

一想到半導體行業(yè),大家想到的是機械生產(chǎn),材料,電子電器,與污染兩個字似乎也沒有什么關(guān)系。但事實上,半導體生產(chǎn)過程中使用了大量有機物和無機物,包括許多有毒有害物質(zhì),對環(huán)境危害較為嚴重。如不通過尾氣處理設備對廢氣尾氣加以控制,將會產(chǎn)生較大的環(huán)境污染。


半導體尾氣處理器


等離子水洗Local Scrubber設備,干式等

該設備主要去除半導體Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圓工藝制程中使用或產(chǎn)生的PFC溫室氣體和有毒有害氣體,如:CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。

噴淋塔

對于含有酸性/堿性物質(zhì)的廢氣 ,半導體廠封閉車間大都采用大型臥式洗滌塔進行廢氣處理。






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