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S6300 勻膠機設計標準為結構緊湊、簡單易用，程控操作。透明可視，而化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業時*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發。并展現出非常高的性價比，可升級自動點膠系統。
SANNO 6300勻膠機特性優點：
● 可編程100組100步程序
● 400W伺服電機，PLC控制
● 7"全彩觸摸屏，簡單易用
● HDPE內腔，SUS外殼，耐溶劑PC透明蓋
● 真空互鎖及蓋子開關互鎖安全功能
● 防堵膠功能設計
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SANNO 6300 勻膠機詳細參數
產品型號 | S6300 |
支持圓片/晶片尺寸 | 25px-300mm（12" 圓晶） |
速度可調范圍 | 0-5000rpm |
加速度可調范圍 | 100-10000rpm/s |
大單步旋涂時間 | 3000s |
時間分辨率 | 0.1s |
轉速分辨率 | 1rpm |
電壓輸入 | AC100-230V，可切換中英文操作界面 |
外型尺寸 | 600*470*300mm |
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