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產品簡介
MX63和MX63L顯微鏡系統支持檢測尺寸達300毫米的晶圓、平板顯示器、印刷電路板以及其他樣品的質量。這些符合人體工學設計的人性化系統采用模塊化設計，可在各種應用中實現Z佳觀察條件。結合奧林巴斯Stream圖像分析軟件使用時，從觀察到生成報告的整個檢測流程更簡潔直觀。
詳細介紹
滿足電子行業需求
功能性
為滿足電子行業的人體工學和安全性要求而設計的附加功能以增強分析能力
人性化
簡潔的顯微鏡設置使用戶調整和再調用系統配置變得更為輕松。
*的成像技術
我們成熟可靠的光學器件和優良的成像技術可獲得清晰圖像，并完成可靠檢測。
模塊化
用戶可通過選擇適合其應用的模塊進行系統定制。
*的分析工具
MX63系列的各種觀察功能可生成清晰的圖像，讓用戶能夠對樣品進行可靠的缺陷檢測。全新
照明技術以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項為用戶評估樣品和存檔檢測結
果提供更多選擇。
從不可見到可見：MIX觀察與采集
通過暗場與明場、熒光或偏光等其他觀察方法結合使用，MIX觀察技術能夠獲得特殊的觀察圖像。MIX觀察技術可讓用戶發現用傳統顯微鏡難以觀察的缺陷。暗場觀察所用的環形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗場功能。該功能可減少樣品光暈，有助于觀察樣品的表面紋理。