原理結構溫度傳感器測量管道內氣體的溫度，另一個為速度傳感器，電加熱導高于溫度傳感測量得到的溫度，并且保持溫度差值恒定。當氣體流動帶走速度傳感器上的熱量時，為了保持溫度差恒定，需要額外的電補償加熱，而這個補償的電功率大小和氣體質量流量成正比。 上式中：Qm為氣體質量流量，K為儀表系數（恒定），△p為補償的電功率大小（可以通過測量得到），Cp為定壓比熱容（由氣體組分決定）；△t為兩探頭間的溫度差（恒定）：S為管道截面積。基于上述原理，對于大管徑的流量測量來說，雖然相應的大管徑標定裝置來對流量計進行標定，單只要在標準口徑的標定裝置上測定相應的質量流速，也就可以方便地測量大口徑中流體的質量流量了。
兩個傳感器都是用性能穩定的金屬鉑材料，通過特殊工藝密封在316L不銹鋼管或抗酸、堿腐蝕的特種材料管中制成，因此極為堅固，并不會污染被測流體或受被測流體污染，且其抗腐蝕性能很好。
關注質量流量計是采用感熱式測量,通過分體分子帶走的分子質量多少從而來測量流量,因為是用感熱式測量,所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結果。質量流量計是一個較為準確、快速、可靠、高效、穩定、靈活的流量測量儀表,在石油加工、化工等領域將得到更加廣泛的應用,相信將在推動流量測量上顯示出巨大的潛力。質量流量計是不能控制流量的,它只能檢測液體或者氣體的質量流量,通過模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。但是,質量流量控制器,是可以檢測同時又可以進行控制的儀表。質量流量控制器本身除了測量部分,還帶有一個電磁調節閥或者壓電閥,這樣質量流量控制本身構成一個閉環系統,用于控制流體的質量流量。質量流量控制器的設定值可以通過模擬電壓、模擬電流,或者計算機、PLC提供。
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