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產品簡介
CVD管式爐控制電路選用模糊PID程控技術，具有控溫精度高，溫沖幅度小，性能可靠，簡單易操作等特點。
詳細介紹
CVD管式爐可根據用戶需要設計生產（有雙溫區、三溫區、多溫區），可預抽真空（有高真空、低真空），通多種氣氛（供氣系統有質子流量器和浮子流量控制器）。性能可靠。控制電路選用模糊PID程控技術，具有控溫精度高，溫沖幅度小，性能可靠，簡單易操作等特點。
CVD管式爐由沉積溫度控件、沉積反應室、真空控制部件和氣源控制備件等部分組成亦可根據用戶需要設計生產，CVD系統除了主要應用在碳納米材料制備行業外，現在正在使用在許多行業，包括納米電子學、半導體、光電工程的研發、涂料等領域。
CVD管式爐產品功能介紹以及特點說明：
1、采用KF快速法蘭密封，只需要一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人為操作導致漏氣的可能；減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能；
2、爐膛采用進口氧化鋁多晶纖維材料，保溫性能好，耐用，拉伸強度高，無雜球，純度高，節能效果明顯優于國內纖維材料；
3、采用KF快速法蘭密封，只需要一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人為操作導致漏氣的可能；減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能；
4、雙溫區控制系統采用PID方式控制，控溫儀表中可以設置30段升降溫程序，每個溫區可以單獨控溫；
5、CVD管式爐內置兩個溫區，可以營造300℃內不同的溫度梯度；
6、預留了485轉換接口，可通過我司軟件，與計算機互聯，可實現單臺或者多臺電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能；可安裝無紙記錄裝置，實現數據的存儲、輸出。
CVD管式爐使用過程中應注意以下幾點要求：
1、CVD管式爐*使用或長時間不用后，要在120℃左右烘烤1小時，在300℃左右烘烤2小時后使用，以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度，以免損壞加熱元件 及爐襯。禁止向爐膛內直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內的清潔。
2、冷爐使用時，由于管式爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不易過快，各溫度段的升溫速率差別不易太大，設置升溫速率時應充分考慮所燒結材料的物理化學性質，以免出現噴料現象，污染爐管。
3、CVD管式爐爐膛若采用石英管，當溫度高于1000℃時，石英管的高溫部分會出現不透明現象，這叫失透是連熔石英管的一個固有缺陷，屬正常現象。
4、定期檢查溫度控制系統的電器連接部分的接觸是否良好，應特別注意加熱元件的各連接點的連接是否緊固。