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設備：

* 雷尼紹爾干涉儀（直線軸XYZ,旋轉軸AB精度）

*  Leica跟蹤儀（測Z向的垂補）

參數：(以下默認公制，只列關鍵)

螺距補償

垂度補償

步驟：

詳細步驟建議參考技術手冊和胡國清版的《西門子840Dsl數控系統應用工程師手冊》

注意事項：

1.     修改補償點數后（建議一次性修改），牢記先備份當前NC，再回載才能正常使用。

2.     多采用螺距補償來補各軸精度，必要時間隙誤差（backlash）也需要補（圖中可看出），在重復度不好，回程影響不*時，可采用雙向補償（垂度補償）

3.     采用螺距補償時，一般先回參考點，直接取消螺距補償(CF)，然后執行補償數據，再激活(CF)，就可以生效，無需重啟（PO）。但要多觀察數據變化，若補償沒有效果，此時必須重啟才就能生效！

4.     在做旋轉軸補償時，若零點位置比較重要（且已經調好），建議分段測數據。比如0~30度，0~-30度，然后組合數據-30 ~30 來進行螺距補償，這樣比較合理。否則以-30度或者30度為基準，則零點數據偏離會比較大，且0點附近的值往往用的多。

5.     旋轉軸補償精度能到0.0002度以內，尤其擺長比較大的情況下，否則末端的偏移相當可觀。直線軸精度0.005mm基本滿足一般加工需求。

6.     測量結果直接輸入數據表即可，不用做任何處理！注意數據補償的方向。補完后，驗證并出報告。

7.     垂補可以補三個方向！不要只補重力下垂方向，另一個方向（如X向）的偏移不能忽略！

8.     大值小值如果是0，默認不保存，不過建議都要寫，防止以前有值在里面！

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