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產品簡介
詳細介紹
TC WAFER晶圓測溫系統 晶圓溫度傳感器
引言
TC為熱電偶的簡稱， TC WAFER則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實現晶圓表面溫度的實時測量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實溫度測量值以及整天晶圓溫度分布；同時，也可利用此傳感器來持續監控在熱處理工程中晶圓暫態溫度變化，例如：升溫，降溫過程及延遲周期等！（溫度的均勻與否，良率）
在半導體工藝中，TC WAFER晶圓測溫系統可用于多種應用場景，包括光刻、刻蝕、薄膜沉積等。其能夠實現精確的溫度控制，從而提高工藝的穩定性和準確性，提高產品的質量和性能。此外，其還可以用于廢料處理和設備維護等，提高生產效率和成本效益
智測電子擁有全套傳感器生產、加工與檢測設備，擁有高精度溫度傳感器的生產、研發和產品定制能力，為半導體裝備、航空航天、智能制造、高校實驗室、計*院所、生物技術等行業用戶提供專業的高精度測溫解決方案。
產品特點
半導體制造廠 Fab，PVD/CVD 部門、RTP 部門等使用。
傳感器可以定制。
高精度多通道數據采集儀。
優異的軟件功能，方便數據統計、趨勢繪圖和數據導出。
產品優勢
高精度：由于其直接嵌入在晶圓表面，可以實現對晶圓溫度的實時、精確監測。
可靠性：傳感器材料穩定，適應長期運行，不易受到外界干擾。
高靈敏度：微小的溫度變化也能被傳感器準確地捕捉，確保制程的穩定性。
即時性：傳感器的實時性能使得生產線上的溫度調整能夠迅速響應，減少生產過程中的溫度波動。
TC WAFER晶圓測溫系統 晶圓溫度傳感器