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KASHIYAMA MU600X 真空泵
| 項目/模型 | MU600X | |
| 泵組成 | MU100X + MB600 | |
| *1 最大泵速50/60Hz[L/min] | 10000 | |
| *1 極限壓力[Pa] | 0.5 | |
| 最大入口壓力[Pa] | 大氣壓力 | |
| Flange Dia/進口 | NW80 | |
| Flange Dia/出口 | NW40 | |
| 電機額定輸出 | 4.4 | |
| 加速時間 | 大約10 | |
| 減速時間 | 大約5 | |
| 冷卻水 | 最大壓力 | 0.5 MPa (Gauge Pressure) |
| 必要最小值 | 0.2 MPa (Gauge Pressure) | |
| 流量體積 | 2 to 3 L/min | |
| 溫度 | 10至25攝氏度 | |
| Flange Dia | RC 3/8“(帶耦合器) | |
| *2 氮 | 供應壓力 | 0.1至0.7 MPa(表壓) |
規則壓力 | 0.04 to 0.10 MPa(表壓) | |
流量體積 | 0 to 10 SLM (Depending on usage) | |
| Flange Dia | 管件1/4“ | |
| 導管 | 壓強 | 大氣壓-負196帕 |
流 | 0.5米/分鐘 | |
| Flange Dia | 50×50L | |
電動力 | 進入動力 | 3PH，200~220 V，50/60 Hz *3 允許電壓變化土10% |
電容量 | 8.9千伏安 | |
| 運行電流 | 6 to 18 A | |
連接器 | 約4毫安 | |
| 潤滑油 | 類型 | 氟油 |
| 體積 [L] | 0.1 + 0.1 | |
| Approx. Weight [kg] | 120 | |
*1） 在沒有吹掃氣體的情況下。
*2） 抽真空腐蝕性氣體等時需要氮氣。
該圖為密封和稀釋所需的總吹掃體積。
*3） 電壓的最大允許波動，而不是正常電壓的范圍。
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