目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>熱蒸發鍍膜儀>> CY-EVH500-III-HHH-SS高真空三源熱蒸發鍍膜儀
| 產地類別 | 國產 | 價格區間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,地礦,能源,建材/家具,鋼鐵/金屬 |
本設備為三源高真空蒸發鍍膜儀，設備采用前開門式真空腔體設計，腔體空間大，可拓展性強，能夠滿足多樣式大尺寸樣品的蒸發鍍膜。腔體內配有上置樣品臺，可根據用戶樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺可旋轉、加熱，所有操作均通過觸控屏集成控制。設備的真空泵組為兩級式真空系統，由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組成，可為真空鍍膜試驗提供清潔無油的高真空的環境；真空系統內含有完善的氣動閥系統，用戶可通過觸控屏進行一鍵式操作實現抽取真空、不停機取放樣、停機等操作。
詳情介紹：
本設備的蒸發源共三組，采取鎢舟蒸發源，水冷式銅電極，可*大支持260A的大電流，加熱溫度*高可達1800℃，可實現多種難熔金屬的蒸鍍，三組獨立熱蒸發源，不會導致鍍材互相污染。本設備采用一體化設計，腔體和電控部分左右分置，實現了水電分離，有力的保證了用戶的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結合的設計，真空系統、樣品臺等輔助功能通過觸控屏一鍵操作，通電蒸發、膜厚控制等通過面板獨立操作，在盡可能方便用戶的同時規避了誤操作的可能。該設備設計完善性能，是實驗室高精度蒸發鍍膜試驗的之選。
三源高真空蒸發鍍膜儀應用領域：金屬和介電膜 ，薄膜傳感器的制造 ，光學元件 ，納米與微電子 ，太陽能電池等。
技術參數：
| 產品名稱 | 三源高真空蒸發鍍膜儀 | |
| 產品型號 | CY-EVH500-III-HHH-SS | |
| 樣品臺 | 尺寸 | *大支持φ150mm樣品 |
| 功能 | 可旋轉，*高加熱500℃ | |
| 蒸發源 | 數量 | 鎢舟x3 |
| 電源 | 每個蒸發源配一組獨立電源；三個蒸發源共三組獨立電源 | |
| 真空腔體 | 腔體尺寸 | φ300x400mm |
| 觀察窗口 | 前置φ100mm | |
| 腔體材料 | 304不銹鋼 | |
| 開啟方式 | 前開門式 | |
| 膜厚控制（選配） | 晶振式膜厚測量儀，可選多通道膜厚控制儀 | |
| 真空系統 | 前級泵 | 雙極旋片泵 |
| 抽氣接口 | KF16 | |
| 次級泵 | 渦輪分子泵 | |
| 抽氣接口 | CF160 | |
| 真空測量 | 電阻+電離 復合真空規 | |
| 排氣速率 | 機械泵1.1L/s 分子泵 600L/s | |
| 極限真空 | 1.0E-5Pa | |
| 供電電源 | AC 220V 50/60Hz | |
| 抽氣速率 | 旋片泵：1.1L/S | |
| 控制系統 | PLC自動控制 操作界面：觸控屏+操作面板 （觸摸屏可控制沉積過程和快速數據輸入；用戶友好 PLC 軟件系統，可以通過網絡更新） | |
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其他 | 供電電壓 | AC380V,50Hz |
| 整機尺寸 | 1000mm X 800mm X 1500mm | |
| 整機功率 | 5kW | |
| 整機重量 | 350kg | |
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