目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>等離子鍍膜儀>> CY-PLZ180-I-DC-Q單靶等離子濺射鍍膜儀(標準型)
產地類別 | 國產 | 價格區間 | 1-5萬 |
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應用領域 | 地礦,能源,建材/家具,電子/電池,鋼鐵/金屬 |
技術參數:
產品名稱 單靶等離子濺射鍍膜儀(標準型) 產品型號 CY-PLZ180-I-DC-Q 樣 品臺 尺寸 100mm 旋轉速度 1~20rpm可調 等離子濺射靶 數量 2英寸x1 冷卻方式 自然冷卻 真空腔體 腔體尺寸 φ180mm X 150mm 觀察窗口 全向可視 腔體材料 高純石英 開啟方式 頂蓋拆卸式 上下蓋材質 304不銹鋼 抽氣接口 KF25 進氣接口 1/4英寸卡套接頭 電源配置 數量 直流電源x1 輸出功率 *大150W 濺射電源 3000V *大濺射電流 50mA 真空系統 真空泵類型 雙極旋片真空泵 抽氣接口 KF25 排氣接口 KF16 抽氣速率 1.1L/s(4m3/h) 極限真空度 ≥0.1Pa 真空測量 電阻真空規 其他 供電電源 AC 220V 50Hz 整機功率 1.5kW 整機尺寸 570mm X 450mm X450mm 整機重量 30kg