目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>熱蒸發鍍膜儀>> CY-EBH500-SS高真空電子束蒸發鍍膜儀
| 產地類別 | 國產 | 價格區間 | 1-5萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 文體,地礦,能源,建材/家具,鋼鐵/金屬 |
高真空電子束蒸發鍍膜儀技術參數：
| 產品名稱 | 高真空電子束蒸發鍍膜儀 | |
| 產品型號 | CY-EBH500-SS | |
| 樣品臺 | 外形尺寸 | <150mm，樣品臺可旋轉 |
| 可調溫度 | ≦500℃ | |
| 電子槍 | 新型電子槍，6孔坩堝 | |
| 加熱燈 | 4只鹵素加熱燈用于除氣，1個氖燈用于照明 | |
| 真空腔體 | 腔體尺寸 | Φ500*H500mm |
| 觀察窗口 | 直徑φ100mm | |
| 腔體材質 | 304不銹鋼 | |
| 開啟方式 | 前開門式 | |
| 膜厚測量 | 采用SQM160膜厚儀進行監控，涂層厚度不均勻度小于6%。 | |
| 真空系統 | 前級泵 | 雙極旋片泵，氣體抽速1.1L/S |
| 次級泵 | 渦輪分子泵,氣體抽速600L/S | |
| 真空測量 | 復合真空計(電離規+電阻規) | |
| 系統真空 | 5×10-5Pa | |
| 水冷系統 | 水壓<2.5bar 水壓監測 | |
| 加熱燈 | 4只鹵素加熱燈用于除氣，1個氖燈用于照明 | |
| 電極接口 | 帶2路金屬蒸發電極接口 | |
| 控制系統 | CYKY自研專業級控制器 | |
| 其他參數 | 供電電源 | AC380V,50Hz |
| 整機尺寸 | 1000mm×800mm×1500mm | |
| 整機功率 | 20KW | |
| 整機重量 | 350kg | |
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