目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>實驗室鍍膜耗材>> CY-PLT30-A等離子測試系統(tǒng)
技術規(guī)格：
| 供電電壓 | AC220V，50Hz |
| *大功率 | 1KW |
| 耦合方式 | 電感耦合 |
| 石英腔體 | O.Dφ30mm X 150mm 壁厚3.5mm |
| 觀察窗尺寸 | φ30mm |
| 真空接口 | KF16 |
| 進氣口接口 | 6.35mm 卡套接頭 |
| 質量流量計 | Ar標定 量程100sccm |
| 真空泵 | 雙極旋片真空泵 |
| 極限真空度 | 0.1Pa |
| 冷卻方式 | 水冷銅管+風冷殼體 |
| 射頻電源 | *大輸出功率300W 自動匹配 頻率13.56MHz |
| 整機尺寸 | 560mm X 620mm X 620mm |
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