真空防腐型勻膠機(jī)旋涂?jī)x是內(nèi)腔真空密封，采用承壓式內(nèi)腔和蓋子，保證內(nèi)腔環(huán)境可以抽真空至-0.06MPa以上負(fù)壓下進(jìn)行勻膠處理。CY-S-V真空防腐型勻膠機(jī)有真空和常規(guī)兩種模式操作，可以在內(nèi)腔抽真空和基片真空吸附兩種方式下進(jìn)行。

真空防腐型勻膠機(jī)旋涂?jī)x性能優(yōu)點(diǎn)：  

1.真空防腐型勻膠機(jī)主機(jī)機(jī)箱采用PP外殼材料，耐腐蝕易清潔  

2.內(nèi)腔采用易清潔、耐腐蝕超高分子材料（HDPE）

3.采用工業(yè)級(jí)別伺服電機(jī)，電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。  

4.排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺(tái)之底部 （以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性）。  

5.透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時(shí)隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。  

真空防腐型勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù)：
旋涂程序：至多可存100組程序，每組100步，每個(gè)步驟可**到0.1秒  

轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-10,000rpm（更高速可選）  

旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）  

馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 ：<±1rpm  

轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度及重復(fù)性：1rpm  

CY-S-V真空防腐型勻膠機(jī)帶真空數(shù)字顯示功能  

工藝時(shí)間設(shè)定：0-3,000sec/step，時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec  

支持晶圓尺寸：碎片至200mm（8"圓晶）

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