真空加熱型勻膠機旋涂儀是加熱型勻膠機基礎上增加內(nèi)腔抽真空功能，保證基片在加熱和真空負壓狀態(tài)下進行勻膠作業(yè)。真空加熱型勻膠機在真空負壓狀態(tài)可以進行邊加熱邊旋轉(zhuǎn)的控溫勻膠操作，對提高膠體流動性，加速溶劑揮發(fā)，勻膠后直接烤膠等操作提供了便利的解決方案。

真空加熱型勻膠機旋涂儀性能參數(shù)：  

加熱轉(zhuǎn)盤:Φ50mm  

控溫范圍:室溫~150℃  

溫度分辨率:0.1℃  

控溫精度:±0.5℃（穩(wěn)定后控溫）  

轉(zhuǎn)速分辨率:±1RPM  

轉(zhuǎn)速范圍:100-5000RPM  

加速度范圍:100-5000RPM/S  

單步設置時長:0.1-3000S  

可編程: 100組100步  

自動點膠口:一路  

設備重量:15kg  

電源輸入:AC220V，5A  

加熱功率:150W  

電機功率: 200W  

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