大功率程控伺服勻膠機旋涂儀是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備，它可以實現在價值百萬美元的設備上才可能達到的穩(wěn)定性和均勻性，大功率程控伺服勻膠機能夠處理12寸以內的圓晶基片。

大功率程控伺服勻膠機旋涂儀主要特點：  

機身采用不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；  

工業(yè)級別400瓦伺服電機系統(tǒng)，采用于trCYk設備相同設計和程序，使您的工藝更具有實際應用意義；  

可達到50000rpm/s的旋轉加速度，確保旋轉勻膠的穩(wěn)定性和的可重復性。  

大功率程控伺服勻膠機技術參數：  

旋涂程序：可以至多存儲100組程序，每組100步，每個步驟可**到0.1秒  

轉動速度：0-5000rpm（更高速可選），考慮重片或大片旋涂safety限定為5000rpm  

旋涂加速度：0-10000rpm/sec（更高可選），考慮重片或大片旋涂safety限定為10000rpm/s  

馬達旋涂轉速穩(wěn)定性能誤差：<±1rpm  

轉速調節(jié)精度和重復性：1rpm  

工藝時間設定：0-3000 sec/step，時間設置精度：0.1sec  

支持wafer尺寸25px-300mm（12''圓晶）  

旋涂作業(yè)均勻性：<±3%在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）  

CY-HP-PC-S大功率程控伺服勻膠機優(yōu)點：  

內部緊湊設計，縮小了設備的尺寸。  

7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。  

Telon ®/polyethylene“密閉碗"設計可適合各種材料勻膠工藝。  

標準配置轉速5000rpm，并可根據用戶需要進行定制。  

采用工業(yè)級別伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。  

機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，生銹，便于清洗。  

排風和抽氣系統(tǒng)位于載片臺之底部 （以利于排風效率和勻膠均一性）。  

透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。  

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