目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>勻膠機旋涂儀>> CY-SPC4-SS-JH凈化型4寸勻膠機旋涂儀
凈化型4寸勻膠機旋涂儀特點：
1、帶有100級空氣凈化裝置，可有效除去勻膠臺周圍空氣中的污染微塵，防止
勻膠過程中的雜質污染。
2、 設置有LED照明燈，可程控照明，非常方便日常操作。
3、可設置時間--轉速曲線，程序控制勻膠工藝
4、7英寸液晶顯示屏，操作簡單易學無需專業學習
5、采用無刷伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。
6、機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、生銹，便于清洗。
7、排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。
8、透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業時隔絕光阻的溢出有效
隔絕有毒氣味的散發。
9、前面板設置有電動玻璃屏升降按鈕，可電動升降前擋玻璃板。
凈化型4寸勻膠機旋涂儀主要技術參數：
勻膠時間 | 1-99秒 |
勻膠轉數 | 0-8000轉/分 |
操作區風速 | 0.3-0.5米/秒(有效操作區氣流狀態：垂直層流()適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠 |
凈化效果 | 100級（美國聯邦標準） |
外形尺寸 | 650x750x1620mm |
外體顏色 | 亞白色 |
控制范圍和精度 | 轉速控制范圍為：500-8000轉，精度為±3% |
時間控制范圍為 | 1-99秒，精度為±5% |
轉速調整 | 采用PID調節，精度高 |
轉速查看智能化 | 可自動識別哪個電機開或關，自動轉換到開啟的電機上。可予先選定，也可在運行中隨時查看任一電機的轉速 |
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