目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>熱蒸發(fā)鍍膜儀>> CY-OE有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀設(shè)備用途：
蒸發(fā)鍍膜儀用于生長薄膜太陽能電池，EL OEL分子有機(jī)電致發(fā)光器件薄膜的研究工作。廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所進(jìn)行薄膜材料的科研與小批量制備。
有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：
真空室 | 二個D型真空室，尺寸均約為?450×H750mm; 兩個真空室的真空系統(tǒng)配置、極限壓力、恢復(fù)真空時間、熱阻蒸發(fā)舟及電源、膜厚監(jiān)測儀、真空室照明裝置、烘烤裝置、樣品臺的配置與技術(shù)參數(shù)指標(biāo)相同； | |
真空系統(tǒng)配置 | 日本進(jìn)口低溫泵、無油渦旋干泵與電磁、復(fù)合數(shù)顯真空測量規(guī)與計、閥門等。 | |
極限壓力 | ≤2.0×10-5Pa | |
恢復(fù)真空時間 | 40分鐘可達(dá)到1×10-4Pa | |
電動磁力耦合樣品傳遞裝置 | 真空室1 | 采用磁力耦合line motion傳遞裝置，采用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動，設(shè)有遠(yuǎn)程手控控制盒，可控制直線前進(jìn)后退。 |
有機(jī)蒸發(fā)源及電源 | 真空室1 | 新型0EL升華型蒸發(fā)源9支，每支蒸料可裝10CC，室溫-800℃7支，室溫-1000℃2支；蒸發(fā)源電源4臺。 |
真空室2 | 新型0EL升華型蒸發(fā)源6支，每支蒸料可裝10CC，室溫-800℃6支；蒸發(fā)源電源3臺。 | |
熱阻蒸發(fā)舟及電源 | 新型蒸發(fā)舟2組（熱阻蒸發(fā)舟）； 數(shù)字式熱阻蒸發(fā)電源1臺，帶有細(xì)調(diào)功能（0.1安培）；鍍鋁專用盒式蒸發(fā)舟：2個； 普通金屬蒸發(fā)舟10個；蒸發(fā)源擋板2套； | |
膜厚監(jiān)測儀 | 厚度分辨率 | 不平均：0.0133埃/測量；50個樣品平均：0.002埃/測量 |
速率分辨率 | 不平均：0.0133埃/秒；50個樣品平均：0.02埃/秒 | |
精度 | 0.03HZ/測量，2ppm | |
速度 | 每秒測量十次 | |
真空室照明裝置 | 采用LED外照明方式.避免鍍膜污染照明燈 | |
烘烤裝置 | 在真空室外烘烤帶的烘烤方式 | |
樣品臺 | 樣品尺寸 | 可放置一塊100×100mm或者50×50mm基片 |
運(yùn)動方式 | 可電動上下升降，可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速為0-30轉(zhuǎn)/分，轉(zhuǎn)速可調(diào) | |
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