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目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>實驗室產品配件>> CY-MT薄膜膜厚監測儀

薄膜膜厚監測儀

  • 薄膜膜厚監測儀
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參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
  • 品牌
  • 型號 CY-MT
  • 廠商性質 生產商
  • 所在地 鄭州市
屬性

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更新時間:2025-07-31 09:11:15瀏覽次數:40評價

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本膜厚監控儀適用于真空電阻熱蒸發、磁控濺射等鍍膜厚度測量,到達設置厚度自動關閉擋板;通過液晶顯示使您能連續獲取完整的沉積數據,包括速率、厚度和晶體振蕩頻率.1、本機可與計算機連接。 2、顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優點,可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM控制輸出的百分比等工作狀態。 3、通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數、輸出量程及通訊參數等進行設置,并可將所測相關數據寫入Excel文件。 4、具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優點

產品名稱

膜厚監測儀

主要特點

1、本機可與計算機連接

2顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優點,可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM控制輸出的百分比等工作狀態

3通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數、輸出量程及通訊參數等進行設置,并可將所測相關數據寫入Excel文件

4具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優點。

技術參數

監測組件

1、電源:DC  5V±10%),*大電流400mA

2、頻率分辨率:±0.03Hz

3、膜厚分辨率:0.0136?

4、膜厚準確度:±0.5%,取決于過程條件,特別是傳感器的位置,材料應力,溫度和密度

5、測量速度:100ms-1s/可設置

6、測量范圍:500000?

7、標準傳感器晶體:6MHz

8、計算機接口:RS-232/485串行接口波特率12002400480096001920038400可設置,數據位8停止位1校驗

9、模擬輸出:8比特分辨率PWM脈寬調制輸出(集電極開路或內部5V輸出)

10、工作環境:溫度0-50℃,濕度5%-85%RH,不得有冷凝水珠

11、外形尺寸:90mm×50mm×18mm

 

顯示儀

1、輸入電源:AC 220V±10%

2、輸出電源:DC  5V  3A

3、顯示器:12×2數碼管與LED

4、通訊端口:RS-485波特率12002400480096001920038400可設置,數據位8位,停止位1位,奇偶校驗

5、外形尺寸:182mm×65mm×160mm

 

CY-TM106-3探頭

1、適用晶片頻率:6MHz

2、適用晶片尺寸:?14mm

3、安裝法蘭:CF35

4、冷卻水管:?3mm,長度300mm500mm1000mm

5、冷卻水壓:<0.3MPa

6、氣動擋板路管:?3mm

7、壓縮空氣壓力:<0.8MPa>0.5MPa

8、烘烤溫度:通水狀態<200℃,不通水狀態法蘭<100

9、電氣接口:BCN插座

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