目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>熱蒸發(fā)鍍膜儀>> CY-EVZ170-Ⅱ-H-SS桌面型雙源蒸發(fā)鍍膜儀
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 1-5萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
本產(chǎn)品為桌面型雙源蒸發(fā)鍍膜儀，設(shè)備安裝有兩套蒸發(fā)源，各蒸發(fā)源分別供電，可交替開啟也可同時開啟；每個蒸發(fā)源可提供最大100A的鍍膜電流，最大蒸發(fā)溫度可達1800℃，能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍，因此被廣泛用于電極的制備和有機物發(fā)光LED的制備。真空腔體采用不不銹鋼制作，配合分子泵組可達到5x10-5Pa極限真空，能夠滿足絕大部分材料蒸發(fā)所需的真空環(huán)境。兩組蒸發(fā)源對稱放置，每個蒸發(fā)源均具有單獨的擋板，可保證鍍膜過程中不被污染。
產(chǎn)品名稱 | 桌面型雙源蒸發(fā)鍍膜儀 | |
產(chǎn)品型號 | CY-EVZ170-Ⅱ-H-SS | |
樣品臺 | 外形尺寸 | 直徑φ60mm |
轉(zhuǎn)速 | ≦20rpm | |
至蒸發(fā)源間距 | 60～100mm 連續(xù)可調(diào) | |
熱蒸發(fā)源 | 配 2 個鎢舟、2個鎢絲籃 | |
蒸發(fā)電源 | 2個，每個蒸發(fā)源均配擋板 | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ170mm，高度210mm |
觀察窗口 | 直徑φ60mm | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 | |
開啟方式 | 上開啟式 | |
膜厚測量 | 晶體膜厚測量儀（也可選膜厚控制儀） | |
真空系統(tǒng) | 前級泵 | 雙極旋片泵，氣體抽速1.1L/S |
次級泵 | 渦輪分子泵,氣體抽速600L/S | |
真空測量 | 復(fù)合真空計(電離規(guī)+電阻規(guī)) | |
系統(tǒng)真空 | 5×10-4Pa | |
控制系統(tǒng) | CYKY自研專業(yè)級控制器 | |
其他參數(shù) | 供電電源 | AC220V,50Hz |
整機尺寸 | 600mm×600mm×750mm | |
整機功率 | 1200W | |
整機重量 | 40kg | |
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