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膜厚控制儀
技術特點：
1. 全觸屏操作，簡單易用；
2.32個膜系，每膜系50/100層自動鍍膜；
3. 12路信號輸入/12路開關量輸出；
4. 提供全自動、半自動、手動控制模式;
5.可控制2個源，一套工作另一套預溶；
| CY-FDC-S控制儀 | |
| 晶振頻率 | 6MHz（可選2.5M 3M 5M 9M晶體) |
| 顯示方式 | 5"彩色觸屏+數碼管顯示速率和實厚 |
| 操作方式 | 觸摸屏 |
| 終 厚 | 00μ0000?-99μ9999? |
| 厚度顯示分辨率 | 1?/s |
| 速率顯示分辨率 | 0.1?/s |
| 鍍膜層數 | 32膜系，每膜系50/100層； |
| 探頭數量 | A B |
| 工具因子 | 0.01-99.99 |
| 時間顯示 | 00:00:00-23:59:59 H:M:S |
| 功率顯示 | 0～99.9% |
| 預熔功率 | 0～99% |
| 預鍍功率 | 0～99.9% |
| 預熔時間/預鍍時間 | 0～99:99 m:s |
| 預熔保溫時間 /預鍍保溫時間 | 0～99:99 m:s |
| 鍍膜速率（設定速率） | 0～999.9?/s |
| 材料存儲 | 257+自定義10種 |
| 通 訊 | RS232/RS485 |
| 可控蒸發源 | 2個，可一套工作另一套預溶 |
| 輸出控制 | ±10V/5V/2.5V |
| I/接口 | 12路信號輸入/12路開關量輸出 |
| 可控坩堝數量 | 1-16個 |
| 鍍膜顯示 | 速率曲線/數值 |
| 鍍膜巡回次數 | 每膜系50/100層自動 |
| 機箱尺寸 | 480×280×89mm(2U 19"機箱) |
特殊功能：
1、手動、半自動、自動3種鍍膜模式，滿足多種鍍膜機配置；
2、人工停止鍍膜：鍍膜過程中人工終止鍍膜；
3、手動控制：確定初次鍍膜工藝要求；
4、中斷膜系：自動和半自動鍍膜中發現問題或出現故障，能停止鍍膜并能自動保存當前狀態，待故障**后，可從中斷膜系繼續鍍膜；
5、自動或半自動鍍膜時，如晶振失效，可選擇按終止鍍膜、按當前功率時間鍍膜、切換晶片繼續（多晶片探頭）；
6、兩個源同時預熔：當前層鍍膜開始過程中，可選擇同時對第2層進行預熔，以滿足對時間要求緊張的場合；
7、密碼保護：膜系和膜層參數密碼保護功能，保護工藝參數不被非工藝人員修改；
8、鍍膜數據記錄：自動或半自動鍍膜時，系統可記錄每層膜的成膜時間、*終厚度速率參數。
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