使用條件

環境溫度5℃～40℃   電源：三相380 V,功率：≤20 KW，水壓：≤2.5bar

真空室尺寸

蒸發室尺寸：φ500×H500(㎜)

電子槍

新型電子槍1套，6穴坩堝

樣品轉盤

樣品尺寸：≤φ150mm，樣品可旋轉，也可上下升降調節樣品到電子槍距離(樣品托形狀按用戶要求設計),加熱溫度≤500℃

系統真空度

極限真空

經12～24小時烘烤，連續抽氣≤5x10^-5Pa

抽氣速率

從大氣開始40分鐘內真空度≤5x10^-4Pa

系統漏率

整機漏率≤1×10^-8Pa.L/s 停泵關機12小時后，測量真空室真空度≤10Pa

抽真空系統

FB1200分子泵+機械泵(TRP-36)系統，并設置旁路抽氣

鍍膜監測

采用SQM160膜厚儀進行監測

鍍膜厚度

鍍膜厚度的不均勻度≤6%