性能指標和基本配置

產(chǎn)品名稱

卷對卷式PECVD

產(chǎn)品型號

CY-OTF-1200X-III-PE300-RR

1000W等離子源

● 輸出功率：50-1000W*大可調(diào)±1%
● RF頻率： 13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005%
● 噪聲：≤55DB
● 冷卻：風(fēng)冷
● 輸入功率：1KW  AC 220V

三路質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)

● 電壓：AC220V/50Hz
● 功率：23W
● PLC觸摸屏控制
● 混氣罐尺寸：φ80*120mm
● 工作溫度：5~45℃
● *大壓力: 3x106 Pa
● 精度: ±1.5% FS
● 線性: ±（0.5-1.5）%F.S.
● 重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
● 流量范圍:
● 一路: 1~50 SCCM （甲烷標定）
● 二路: 1~200 SCCM （氫氣標定）
● 三路: 1~200 SCCM （氬氣標定）
氣體種類標定根據(jù)客戶要求可以進行其它選擇

真空測量單元

● 型號：PCG-800
● 顯示范圍：3.8E-5 to 1125 Torr
精度：
● 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50
● 1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15
● 100 … 950 mbar % of reading ±5
● 950 … 1050 mbar % of reading ±2.5

低真空機組（標配）

● 由雙旋機械泵、雙層立式油霧過濾器（PE材質(zhì)）、電阻真空計以及連接管道接頭等組成
● 真空泵抽氣速率≥4.4L/s
● 極限真空度10^-1Pa
● 真空計測量范圍10^-1Pa-10⁵ Pa

卷對卷銅箔收放密封裝置

● 采用卷對卷收放卷機構(gòu)進行銅箔的移動進出料，銅箔的移動速度為1-400mm/min可調(diào)；
● 配置一卷測試銅箔

● 收放卷機構(gòu)別放置于管式爐兩端真空腔體內(nèi)，保證銅箔可在密封生長條件下進行運動，實現(xiàn)大規(guī)模制備 。
● 收卷機構(gòu)與管式爐之間設(shè)置冷卻裝置用于銅箔的快速冷卻。

產(chǎn)品尺寸

大約2400*800*1250mm

產(chǎn)品重量

大約720kg

質(zhì)量認證

電器元件可選擇通過CE認證

保修期

一年保修，終身技術(shù)支持。
特別提示：
1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。