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適用于大型基板上的薄膜制造和 PDMS 的表面處理涂布機(jī)

2021-9-30　　閱讀(1471)

適用于大型基板上的薄膜制造和 PDMS 的表面處理涂布機(jī)SC-708系列

特征

大型基板全鍍膜的離子濺射設(shè)備
濺射靶材可提供相隔 1 英寸的尺寸，例如 4'/5'/6'/7'/8'。
在形成微通道流路以及濺射薄膜制造時(shí)支持 PDMS 表面處理
配備鍍膜模式/蝕刻模式

應(yīng)用/結(jié)果示例

適用于各種設(shè)備的電極膜附件
反光膜制作應(yīng)用
樣品表面親水化處理應(yīng)用（蝕刻方式）
PDMS表面處理應(yīng)用（蝕刻模式）等

基本規(guī)格

陰極	φ4-8英寸/2極對(duì)向電極
濺射電流蝕刻電流	0-50mA（包括電流表）
濺射電壓蝕刻電壓	0.8 / 1.4kV
氣體引入機(jī)制	針閥
真空泵	直聯(lián)回轉(zhuǎn)泵：100l/min（帶自動(dòng)漏氣）
腔室尺寸	內(nèi)徑φ240mm x D240mm（SUS制）
樣品交換方式	前門開閉式
樣本量	最大φ4 ~ 8 英寸
尺寸（寬/深/高）	主體：282/450 / 440mm RP：460/175 / 265mm
重量	身體：約20kg RP：23kg

特殊規(guī)格示例

SC-704AT
膜厚可控全自動(dòng)機(jī)型

SC-704MC
磁控陰極采用型號(hào)
（無蝕刻/交流濺射功能）

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