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小型單晶圓狹縫涂布機CSC-200的特點

2023-5-25  閱讀(1234)

小型單晶圓狹縫涂布機CSC-200的特點

1.注射器方式支持低粘度~高粘度,薄膜~厚膜
【應用測試結果】
濕膜厚度 5μm~200μm
涂布液粘度 2cps~8000cps
2.分切模具的寬度為100mm,寬度為200mm,涂層寬度可通過墊片調節。
3.狹縫模具的平行度通過開口調節。

4.狹縫模具與基板之間的間隙以1μm的增量調整。
5.平臺采用多孔真空吸附方法,兼容薄膜和金屬箔。
6. CSC-100可以

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安裝在手套箱中[關于涂層測試]
?如果您來辦公室,將免費進行第一次演示測試。
?第二次及以后的測試和樣品制作將收費。
?也可進行現場測試。
?如果您愿意,請與我們聯系。
【狹縫涂布機的技巧】
(1)根據涂布液的流量選擇最佳的狹縫寬度和出料速度

2)根據出料速度調整涂布速度(載物臺移動速度)

(3) 根據薄膜厚度調整工件和模具之間的間隙并優化提前時間



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