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橢圓偏振的測量

閱讀:1289          發(fā)布時間:2017-12-3
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實驗項目:
1.了解并熟悉儀器的工作原理和性能
2.掌握如何利用設(shè)備測試樣品的方法
實驗儀器:
橢圓偏振測厚儀 型號:FMD6133
指標(biāo):
偏振器方位角讀數(shù)范圍:0°-180°
測量范圍:1nm-300nm
測量值:≤1nm
入射角:30°-90°;誤差:≤0.1°
度盤刻度:每格2度
游標(biāo)zui小讀數(shù):0.05°
光學(xué)中心高度:152mm
工作臺直徑:Φ70mm

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