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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
掃描電子顯微鏡特點(diǎn)
FlexSEM 1000 II，憑借全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和高靈敏度檢測(cè)器，可在加速電壓20 kV下實(shí)現(xiàn)4.0 nm的分辨率。全新開(kāi)發(fā)的用戶界面，具有亮度和對(duì)焦自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，可以在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行各種觀察。此外，還搭載了全新的導(dǎo)航功能“SEM MAP"，這個(gè)功能可彌補(bǔ)電子顯微鏡上難以找準(zhǔn)視野的缺點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)最直觀的視野移動(dòng)。
盡管是可放置在桌面上的小巧緊湊型*1電子顯微鏡，仍可實(shí)現(xiàn)4.0 nm的分辨率
憑借的高靈敏度二次電子、背散射電子檢測(cè)器、低真空檢測(cè)器（UVD*2），可在低加速/低真空下觀察時(shí)實(shí)現(xiàn)最高的畫(huà)質(zhì)
全新的用戶界面，無(wú)論用戶的熟練程度如何，都可實(shí)現(xiàn)高畫(huà)質(zhì)和高處理能力
全新的定位功能“SEM MAP"，支持觀察時(shí)的視野搜索和樣品定位
*1設(shè)置到桌面上時(shí)，請(qǐng)將機(jī)體與電源盒分離
*2選項(xiàng)
掃描電子顯微鏡小型高性能色譜柱
尺寸雖小，卻具備同類產(chǎn)品中最高的分辨率。
加速電壓：20 kV
倍率：60,000倍
信號(hào)：SE
分辨率：4 nm
加速電壓：20 kV
倍率：50,000倍
信號(hào)：BSE
分辨率：5 nm
高畫(huà)質(zhì)
配備可優(yōu)化放射電流的功能，以便在較低的加速電壓下也能獲得足夠的亮度，而獲得噪點(diǎn)小且清晰的圖像。
加速電壓：5 kV
倍率：30,000倍
信號(hào)：SE、無(wú)金屬涂層
加速電壓：3 kV
倍率：10,000倍
信號(hào)：BSE、無(wú)金屬涂層
可用高畫(huà)質(zhì)和快速觀察
搭載GUI和自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，讓初學(xué)者也能得心應(yīng)手。只要按一下自動(dòng)對(duì)焦（AFC）、自動(dòng)亮度調(diào)節(jié)（ABCC）按鈕，就可以獲得最佳的圖像。（自動(dòng)調(diào)節(jié)：與以往相比，縮短時(shí)間約13秒*3）當(dāng)然，也可以通過(guò)觸屏進(jìn)行操作。
*3對(duì)比日立SEM SU1510
全新定位系統(tǒng)“SEM MAP"
“SEM MAP"功能可有效實(shí)現(xiàn)觀察時(shí)的視野搜索和樣品定位。根據(jù)內(nèi)置攝像頭所拍攝的圖像，定位樣品，一鍵點(diǎn)擊即可移動(dòng)到觀察部位。
在SEM MAP上導(dǎo)入的圖像會(huì)自動(dòng)進(jìn)行粘貼，并以分布圖的形式顯示。
可放置在桌面上的緊湊型電子顯微鏡
寬幅僅為45厘米，緊湊型設(shè)計(jì)，減小占用空間。機(jī)體僅支持AC100 V 3P電源插座。此外，機(jī)體和電源盒可以分離，從而大幅度提升諸如桌面設(shè)置等的布局靈活性。
規(guī)格
| 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
|---|---|
| 分辨率*3 | 4.0 nm（二次電子像、加速電壓：20 kV、高真空模式） 15.0 nm（二次電子像、加速電壓：1 kV、高真空模式） 5.0 nm（背散射電子像、加速電壓：20 kV、低真空模式） |
| 加速電壓 | 0.3 kV～20 kV |
| 倍率 | ×6～×300,000 （照片倍率） ×16～×800,000 （顯示器顯示倍率） |
| 低真空設(shè)置 | 6～100 Pa |
| 電子槍 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲電子槍 |
| 樣品臺(tái) | 3軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái) X：0～50 mm、Y：0～40 mm、Z：5～15 mm T：-15～90°、R：360° 最大可觀察范圍：直徑64mm（R聯(lián)用）*4 |
| 最大樣品尺寸 | 直徑80 mm（選配：直徑153mm） |
| 最大樣品高度 | 40 mm |
| 尺寸 | 機(jī)體：450（寬度）×640（進(jìn)深）×690（高度） mm 電源盒：450（寬度）×640（進(jìn)深）×450（高度） mm |
| 選項(xiàng) |
|
| 軟件 | Multi Zigzag（連續(xù)視野圖像導(dǎo)入功能） |
*PC、桌子、監(jiān)控器由客戶準(zhǔn)備
*3機(jī)體和電源盒連接時(shí)候
*4使用標(biāo)準(zhǔn)支架時(shí)
半導(dǎo)體
焊線
真空度：30 Pa
倍率：1,000倍
信號(hào)：BSE、無(wú)金屬涂層
真空度：30 Pa
倍率：5,000倍
信號(hào)：BSE、無(wú)金屬涂層
材料
二硫化鎢
FlexSEM 1000 II采用新型偏壓系統(tǒng)，可在低加速電壓下獲得高放射電流。從而，在低加速電壓下也能實(shí)現(xiàn)同類產(chǎn)品中最高的圖像清晰度（S/N）。
倍率：10,000倍
信號(hào)：SE、無(wú)金屬涂層
倍率：10,000倍
信號(hào)：SE、無(wú)金屬涂層
水泥
倍率：15,000倍
信號(hào)：SE、無(wú)金屬涂層
黃銅礦
真空度：40 Pa
倍率：1,000倍
信號(hào)：BSE、無(wú)金屬涂層
生物
蝴蝶翅膀斷面
倍率：40,000倍
信號(hào)：SE、有金屬涂層
花粉
真空度：60 Pa
倍率：500倍
信號(hào)：UVD、無(wú)金屬涂層
視頻
寬度僅為45厘米的緊湊型電子顯微鏡，仍具備4.0 nm的圖像分辨率！
全新開(kāi)發(fā)的用戶界面和電子光學(xué)系統(tǒng)讓您深切體驗(yàn)其高性能
三維測(cè)量軟件
Hitachi map 3D（選項(xiàng)）
利用SEM上4分割背散射電子檢測(cè)器所獲得的信號(hào)，可計(jì)算4個(gè)方向的表面形狀，從而無(wú)需進(jìn)行樣品傾斜和視野對(duì)位，即可構(gòu)建三維模型。
Hitachi map 3D支持多個(gè)國(guó)家的語(yǔ)言，具備用于調(diào)節(jié)樣品位置的各種校正功能、以及可追溯測(cè)量過(guò)程的測(cè)量系統(tǒng)、符合ISO標(biāo)準(zhǔn)的表面粗糙度（面粗糙度、線粗糙度）的測(cè)定、此外還包括表面積、體積等其他測(cè)量功能以及報(bào)告輸出等功能。