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MProbe 60 是一站式系統，專為研發中心和小型制造而設計。它結合了測量厚度/n&k 與自動化小點測量的能力。MProbe 60 已應用于研發納米技術中心。可以快速可靠地測量 1 nm至 2 mm的厚度，包括多層薄膜堆疊。不同的MProbe 60 型號主要受光譜儀的波長范圍和分辨率影響，進而決定了可測量的厚度范圍。
薄膜厚度均勻度測量系統-MPROBE 60的優勢：
1.具有靈活和模塊化的映射自動化的一站式系統
2.精度<0.01nm 或 0.01%
3.500+ 擴展材料數據庫
4.軟件：用戶友好且功能豐富的 TFCompanion 軟件甚至可以處理zui復雜的應用程序。層數沒有限制，支持背面反射、表面粗糙度、暗度等等。集成的相機和成像軟件允許精確定位測量位置并直接在圖像上顯示結果
薄膜厚度均勻度在線測量系統-MPROBE 60選型列表：
MProbe 60 | 波長范圍 | 厚度范圍 |
VISLX | 400nm -1000nm | 10nm – 75μm |
UVVisSR | 200nm-1000nm | 1nm-75μm |
UVVisF | 200nm-900nm | 1nm – 5μm |
VISHR | 700nm -1100nm | 1μm – 400μm |
NIR | 900nm-1700nm | 50nm -100μm |
VISNIR | 400nm -1700nm | 10nm-100μm |
UVVISNIR | 200nm-1700nm | 1nm-100μm |
NIRHR | 1530nm-1580nm | 25μm-2000μm |
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