AST橢偏儀薄膜分析儀SR100
AST橢偏儀薄膜分析儀SR100系列薄膜分析產品來自美國AST公司，其可以實現薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量，同樣對于材料NK參數也可以實現測量，為人們針對薄膜進行分析提供了便利。
產品詳情
基本功能 | 1，測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數
2，實現薄膜均勻性檢測
3，實現反射、投射以及顏色測量 |
產品特點 | 強大的數據運算處理功能及材料NK數據庫；
簡便、易行的可視化測試界面，可根據用戶需求設置不同的參數；
快捷、準確、穩定的參數測試；
支持多功能配件集成以及定制；
支持不同水平的用戶控制模式；
支持多功能模擬計算等等。 |
系統配置 | 型號：SR100R
探測器： 2048像素的CCD線陣列
光源：高穩定性、長壽命的鹵素燈
光傳送方式：光纖
臺架平臺：特殊處理鋁合金，能夠很容易的調節樣品重量，200mmx200mm的大小
軟件： TFProbe 2.2版本的軟件
通訊接口：USB的通訊接口與計算機相連
測量類型：薄膜厚度，反射光譜，折射率
電腦硬件要求：P3以上、低50 MB的空間
電源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A
保修：一年的整機及零備件保修 |
規格尺寸
波長范圍：250nm到1100 nm
光斑尺寸：500μm至5mm
樣品尺寸：200mmx200mm或直徑為200mm
基板尺寸：多可至50毫米厚
測量厚度范圍*：2nm～50μm
測量時間：2毫秒
精度*：優于0.5％（通過使用相同的光學常數，讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較）
重復性誤差*：小于1 ? | |
可選配件項 | 用于傳遞和吸收測量的傳動夾具（SR100RT) )
低可測量直徑為5μm大小的微光斑(MSP100)
在多個位置下，多個通道用于同時測量 (SR100xX)
在超過200或300毫米晶片上所進行的統一測繪（SRM100-200/300） |
應用系統
主要應用于透光薄膜分析類領域：
1 玻璃鍍膜領域(LowE、太陽能…)
2 半導體制造(PR，Oxide, Nitride…)
3 液晶顯示(ITO，PR，Cell gap...)
4 醫學，生物薄膜及材料領域等
5 油墨，礦物學，顏料，調色劑等
6 醫藥，中間設備
7 光學涂層，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
8 半導體化合物
9 在MEMS/MOEMS系統上的功能性薄膜
10 非晶體，納米材料和結晶硅
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