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CVD1200C-II-SL 200D50-5Z 雙溫區滑軌式CVD系統由雙溫區滑軌爐、質子流量控制系統、真空系統三部分組成。雙溫區滑軌爐可移動并可實現快速升降溫；PLC控制5路質子流量器，能夠精確控制系統的供氣；真空泵可實現對管式爐快速抽真空。CVD（化學氣象沉積系統）常用于表面材料生長、沉積，是一款實驗室常用設備
技術參數

技術參數

雙溫區滑軌爐LFT1200C-II 200D50-5Z	爐體結構	該設備采用雙層殼體并帶有風冷系統，使其爐體表面溫度都小于55℃ 爐底安裝一對滑軌，可手動滑動，以便滿足特殊工藝的快速升降溫的求。
	爐管尺寸	Φ50/60/80/100×1400mm(可提供特殊定制。)
	功率	5kW
	輸入電壓	220VAC 單相 50/60Hz
	加熱元件	Cr27Al7MO2（摻鉬鐵鉻鋁合金）
	zui高溫度	zui高溫度：1200℃ 額定溫度：1100℃
	升溫速率	≦10℃/min（推薦）
	加熱區長度度	兩個加熱區的長度都是200mm 分別由獨立的溫控系統控制
	恒溫區長	100+100mm（±1℃）可獲得較長恒溫區間
	控溫精度	±1℃
	快速連接法蘭	Φ50快結式不銹鋼真空法蘭打開法蘭直接卸下卡箍即可，取放樣品方便另配備有可調節高度的法蘭支架
五路質子流量控制系統 MFC-5Z	電壓	220VAC 單相 50/60Hz
	針閥材質	316不銹鋼
	量程	50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm（可根據工藝要求提供多種量程選擇）
	工作溫度	5～45℃
	外型尺寸	600(L) x 600(W) x 700(H) mm
	電壓	AC220V/50Hz單相
	功率	23W
真空系統 LVU-10	殼體尺寸	600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm
	zui大承載量	1000 Lbs
	抽氣速率	10m³/h 極限真空度：10^-1Pa 雙層立式油污過濾器(PE材質）與真空泵連接
質保期	一年質保期，相關耗材除外，如爐管，密封圈加熱元件等易耗件
使用注意事項	爐管內氣壓不可高于0.02MPa 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

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