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大口徑高溫高壓芯片退火管式爐設備用于較大尺寸（最大尺寸為8英寸）襯底退火處理，設備采用電阻絲為加熱元件，保溫材料為氧化鋁纖維爐膛真空吸附成型，保溫性能好，電阻絲為內嵌式一體成型，美觀、節(jié)能；該設備還集成了真空以及供氣系統(tǒng)，滿足更多工藝條件要求。采用耐高溫金屬管為高溫爐管，滿足高溫工作條件，也能滿足真空或者一定的正壓條件實驗要求，是一款潔凈的大尺寸樣品熱處理設備。
設備型號：LFT1200C450D254
額定電壓：380V
額定功率：13KW
最高溫度：1000℃
額定溫度：900℃
升溫速率：10℃/min
熱電偶類型：K型熱電偶
控溫精度:±1℃
極限真空度（選件）:1.0×10-3Pa（機械泵+分子泵）
加熱元件：OCr27Al7MO2（摻鉬鐵鉻鋁合金）
爐管尺寸（可根據(jù)客戶要求訂制）：內徑245*600mm（含管堵）
外型尺寸（長×深×高):1900*700*2100mm
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