1、 進樣系統：溶液→氣溶膠（進入ICP離子源）
2、 ICP離子源：氣溶膠→離子(去溶、氣化、解離、電離）
3、接口：離子進入真空（界面層、等離子體電位與離子動能）
4、離子在四極桿中被按質荷比篩選
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