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原位SEM力學樣品臺
●配備高精度5軸驅動樣品臺和高精度納米微壓頭；
●多種加載模式：加載-保載-卸載，循環加載等；
●自動測量載荷-位移曲線并自動保存；
●自動多點、矩陣方式采集載荷-位移曲線；
●自動對多條載荷-位移曲線進行擬合處理；
●可擴展溫控模塊（RT-1300℃，±0.01℃）、電學模塊（pA-mA， 普通模式±10 V，高壓模式±200 V）。
原位SEM力學樣品臺通過使用力學傳感器中的靜電施以載荷，用微壓頭將載荷施加到納米材料上， 同時通過電容記錄位移，可以實現如壓縮、彎曲、疲勞、納米壓痕和納米劃痕 等測試。根據所得的力-變形（應力-應變）曲線，可以定量確定這些納米結構 的材料特性。
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