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廈門超新芯科技有限公司所研發生產的透射電鏡原位高溫力學系統是通過在原位樣品桿內置力學測量模塊、三維納米運動模塊、原位加熱芯片，可對材料進行應力及熱場條件下原子分辨高時空分析。通過該系統，在透射電鏡中通過納米探針或者原位芯片對樣品進行操縱和拉應力、壓應力測量。并且在測量樣品壓力同時實現對樣品1000℃的加熱，在高溫力學測量的同時，能夠動態、高分辨地對樣品的晶體結構、組分進行綜合表征。
具備的功能包括：原位壓縮微納試樣進行應力應變曲線監測；原位拉伸微納試樣進行應力應變曲線監測；具有超高精度和靈敏度的力學參數和應變量測試能力，能準確得到定量的載荷和位移的數據，且具有*的穩定性。特色功能：恒定載荷控制功能，以適用于材料的蠕變特性研究；恒定位移控制功能，以適用于材料的應力松弛的研究。
圖原位TEM力學樣品桿示意圖
技術指標：
1）桿體材質：高強度鈦合金；
2）控制方式：高精度壓電控制；
3）最大載荷：150 mN；
4）力學測量分辨率：＜10 nN；
5）粗調X/Y/Z范圍：±2 mm；
6）粗調精度：1.25 μm；
7）細調范圍X/Y/Z：X：8 μm，Y、Z：±5 μm；
8）細調位移分辨率：0.2 nm；
9）(HR)TEM/STEM支持；
10）(HR)EDS/EELS支持；
11）溫度測量范圍：室溫—1000℃；
12）控溫精度：±0.1 ℃；
13）漂移率：1.5 nm/min（恒溫狀態下）
應用案例
納米碳球壓縮原位力學實驗
鎢納米棒原位壓縮過程
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