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技術文章

島津氣質聯用儀晶圓片附著痕量有機物分析

閱讀:651          發布時間:2019-8-6

與硅片所接觸的材料,設備,人員等外界環境都包含有機化合物。在該實例中,一塊8英寸硅片被壓覆于一塊晶片加熱板上。晶片表面所產生的揮發性氣體可以通過一臺GC-MS進行收集和分析。

 

通常,塑料材質的零配件會檢測出包含C12(1-十二碳烯)、環甲基硅氧烷(n=6)和二羧酸酯組分。

 

氣相色譜-質譜聯用儀

通過加熱晶圓片,分析有機物揮發出的氣體組分所對應的色譜圖,進而對附著于晶片的有機物進行定性分析。樣品可以通過一個氣體收集器進行采集。此檢測系統可以實現ng級樣品濃度的定量分析。

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