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由于土壤中包含了極為復雜的高濃度共存物質，檢測這些微量水平的物質尤為困難。此類檢測需有一個高靈敏度儀器，比如島津ICP質譜儀，相對來說不受共存物質的影響。下圖為應用ＩＣＰＭ－８５００質譜儀對于土壤標準樣品的分析。

ICP Mass Spectrometer　島津ICP質譜儀

擁有高靈敏度，同時多成分檢測功能以及簡單定性分析及同位素分析，ＩＣＰ質譜儀可應用于廣泛的范圍內，包括自來水，河水，大氣灰塵，食品，藥品，土壤以及生物體的檢測。