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在線薄膜雜質缺陷檢測系統在薄膜生產過程中的應用

閱讀:534        發布時間:2021-5-6

    

檢測系統包括計算機、照相系統、圖像處理系統及缺陷檢測分級軟件等

硬件系統:

高速線掃描攝像機

專業線光源

像素加速器及記憶棒

軟件系統:

操作系統

薄膜圖像處理缺陷分級軟件軟件

主要技術參數:

 

在線掃描照相機 

功能部件: CCD在線掃描照相機

傳感器:4096像素,傳感器尺寸 40.96mm×10μm

像素尺寸:10µm×10μm

動態速率范圍:最大1200:1

像素頻率:最大160MHz

線頻率:36KHz

尼康鏡頭

檢測寬度120 mm

分辨率25μm

線性掃描速度:25m/min( 約400mm/s)

過程速度約32000 lines per 4096像素/s

操作溫度10℃~50 ℃

照明系統

 

LED 3線(超高亮度/高聚光)亮度可調,燈長250mm

薄膜檢測系統可以自動調節曝光時間。測試系統可根據薄

膜的透明度自動調節燈的亮度。同時照明燈的亮度也可以

通過軟件手動設置。

 

測試范圍           

±2,5 mm (漫反射: ±2,0 mm)

光源

可見光半導體激光(波長: 650 nm, 1 mW max., Class 2)

光束形狀

線形光束

光束直徑    

2.000 x 35μm

線性度

測量刻度的±1 %

分辨率

0.4 μm

溫度特性

0.02 % 測量刻度/℃

取樣周期

最少110μs,標準:500μs

 

測試角               

45º

標準

ASTM D 2457

霧度測試范圍   

0~2000GU(GU=Gloss units)

重復性

0~199.9GU : 0.1 GU,200~2000 GU:0.1%

再現性

0~199.9GU : 0.5GU,200~2000 GU:0.4%

測試傳感器

適用于V形

光源

白光, LED

 

 

 

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