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產品簡介
詳細介紹
SZ-ST2258C型多功能數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標準。
特點：
主機主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式單片機系統組成。儀器所有參數設定、功能轉換全部采用數字化鍵盤輸入；具有零位、滿度自校功能；電壓電流全自動轉換量程；測試結果由數字表頭直接顯示。本測試儀特贈設測試結果分類功能，大分類10類。
儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩定性好、智能化程度高、結構緊湊、使用簡便等特點。
儀器適用于半導體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試。
技術參數：
1. 測量范圍、分辨率（括號內為可向下拓展1個數量級）
電 阻：10.0×10-6 ～ 200.0×103 Ω, 分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×103 Ω
（1.0×10-6 ～ 20.00×103 Ω, 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103 Ω）
電 阻 率：10.0×10-6 ～ 200.0×103 Ω-cm 分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×103 Ω-cm
（1.0×10-6 ～ 20.00×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103 Ω-cm）
方塊電阻：50.0×10-6 ～ 1.0×106 Ω/□ 分辨率5.0×10-6 ～ 0.5×103 Ω/□
（5.0×10-6 ～ 100.0×103 Ω/□ 分辨率0.5×10-6 ～ 0.1×103 Ω/□）
2. 材料尺寸(由選配測試臺和測試方式決定)
直 徑： SZT-A圓測試臺直接測試方式 Φ15～130mm，手持方式不限
SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm，手持方式不限.
長(高)度： 測試臺直接測試方式 H≤100mm, 手持方式不限.
測量方位: 軸向、徑向均可
3. 量程劃分及誤差等級
| 滿度顯示 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 |
| 常規量程 | kΩ-cm/□ | kΩ-cm/□ | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ | --- | ||||
| 大拓展量程 | --- | kΩ-cm/□ | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ | mΩ-cm/□ | ||||
| 基本誤差 | ±2%FSB ±4LSB | ±1.5%FSB ±4LSB | ±0.5%FSB±2LSB | ±0.5%FSB ±4LSB | ±1.0%FSB ±4LSB | ||||
4.工作電源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W
5.外形尺寸： 245mm（長）×220 mm（寬）×95mm（高）
凈 重：≤1.5～2.0kg
探頭選配：根據不同材料特性需要，探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭，以測試硅類半導體、金屬、導電塑料類等硬質材料的電阻率/方阻；也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測柔性材料導電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜（ITO膜）或納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具，還可對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量。配探頭，也可測試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。
測試臺選配：一般四探針法測試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測試臺。二探針法測試電阻率測試選SZT-K型測試臺，也可選配SZT-D型測試臺以測試半導體粉末電阻率，選配SZT-G型測試臺測試橡塑材料電阻率。
儀器成套組成：由主機、選配的四探針探頭、測試臺等部分組成。
SZ-M-2型手持式數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準。
SZ-M-2型手持式數字式四探針測試儀具有測量精度高、靈敏度高、穩定性好、智能化程度高、結構緊湊、使用簡便等特點。適用于半導體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試。
基本技術參數
1. 測量范圍、分辨率
電 阻： 0.010 ～ 9999Ω, 分辨率0.001 ～ 1 Ω
電 阻 率： 0.010～ 2000Ω-cm， 分辨率0.001 ～ 1 Ω-cm
方塊電阻： 0.050～ 2000Ω/□ 分辨率0.001 ～ 1 Ω/□
2. 材料尺寸
手持方式不限材料尺寸，但加配測試臺則由選配測試臺和測試方式決定
直 徑：SZT-A圓測試臺直接測試方式 Φ15～130mm。
SZT-C方測試臺直接測試方式180mm×180mm。
長(高)度：測試臺直接測試方式 H≤100mm。.
測量方位: 軸向、徑向均可.
3. 量程劃分及誤差等級
量程（Ω-cm/□） | 9.999 | 99.99 | 999.9 | 9999. |
電阻測試范圍 | 0.010～9.999 | 9.99～99.99 | 99.99～999.9 | 999.9～9999 |
電阻率/方阻 | 0.010/0.050～9.999 | 9.99～99.99 | 99.99～999.9 | 999.9～2000 |
基本誤差 | ±1%FSB±2LSB | ±2%FSB±2LSB | ||
4) 適配器工作電源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W，或電池供電
5) 外形尺寸：W×H×L=18cm×7.5cm×13cm
凈 重：≤0.5kg
探頭選配：根據不同材料特性需要，探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭，以測試硅類半導體、金屬、導電塑料類等硬質材料的電阻率/方阻；也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測柔性材料導電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜（ITO膜）或納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具，還可對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量。配探頭，也可測試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。
配ST2253-F01測硅片電阻率
配ST2253-F01測硅片電阻率
儀器成套組成：由主機、選配的四探針探頭等二部分組成，也可加配測試臺。
主機主要由數控恒流源，高分辨率ADC、嵌入式單片機系統組成，自動轉換量程。儀器所有參數設定、功能轉換全部采用一旋鈕輸入；具有零位、滿度自校功能；全自動轉換量程；測試結果由數字表頭直接顯示。本測試儀采用可充電電池供電，適合手持式變動場合操作使用！