激光干涉儀在不同環境的測量結果
但很多生產廠家的現場條件屬非標準環境,達不到上述標準環境條件要求,其操作人員的熟練程度和應對條件變化的處置能力也有差距,其檢測結果的準確性就值得懷疑了。有些使用者用同一臺激光干涉儀檢測同一臺數控機床,上午檢測和下午檢測的結果竟相差10μm以上,不知該如何處理。
有些*曾用激光干涉儀對測長機、三坐標測量機和數控機床的坐標精度進行檢定/校準時,也發現其測量結果與采用實物標準器(如二等標準線紋尺、二等量塊、精密步距規等)進行校準時的測量結果有很大差別,數值相差甚至大到10~20μm/1000mm。原因可能是多方面的,既有環境影響因素,如溫度變化梯度較大,也有人的操作方式不當等影響因素,甚至還可能有儀器本身的溫度傳感器不夠穩定或帖附位置不恰當等因素影響。所以在激光干涉儀使用中,有必要先用步距規進行校對。校對方法很簡單:把步距規當做被檢測對象,用激光干涉進行檢測,如果測量結果與步距規實際值一致,說明激光干涉儀在本環境條件和使用方式下可準確使用。如果測量結果與步距規實際值相差較大,需對激光干涉儀進行誤差修正,然后再用修正過的激光干涉儀再次測量步距規,直至測量結果與步距規實際值一致或誤差小到可以忽略。
誤差修正的方法值得探討,可采用適當修改初始溫度設定值或修改被測對象線膨脹系數設定值等方法,總之,誤差修正的目的是使再次校對時,使激光干涉儀的顯示值等于或接近等于步距規的實際值。如此,可排除一些意想不到的影響激光干涉儀正確使用的因素,從而顯著提高激光干涉儀在現場環境下測量結果的準確度(即減小測量結果的不確定度)。