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激光干涉儀的測量精度于哪些因素有關?
閱讀：3511 發布時間：2020-4-26
激光干涉儀通常采取邁克爾遜干涉儀形式，由于反射器的作用，直接接收的脈沖當量為λ/2(約0.3μm)，對于精密測量來說，顯然是不夠的。
激光干涉儀的發展歷史：
1960年Maiman研制成功第1臺紅寶石激光器，從此開始了光學技術飛速發展的新時代。從此，激光干涉測量被廣泛地用于長度、角度、微觀形貌、轉速、光譜等領域，并和微電子技術、計算機技術集成，成為現代干涉儀。
1982年Binning和Rohrer研制成功掃描隧道顯微鏡，1986年發明原子力顯微鏡，1986年獲得諾貝爾獎。從此開始了干涉儀向納米、亞納米分辨率和精度前進的新時代。
由于激光具有*的時間相干性，自問世以來，已研制出多種激光干涉儀：單頻激光干涉儀、雙頻激光干涉儀、半導體激光干涉儀、X射線干涉儀等。
激光干涉儀是激光在計量領域中成功的應用之一。利用光的干涉實現測量，具有非接觸、無損檢測的特點，已經在各個不同領域得到廣泛的應用。
激光干涉儀的測量精度于哪些因素有關?
激光干涉儀在實際使用中，需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數據準確可靠。激光干涉儀的測量讀數終均與激光波長有關，因此激光器頻率的準確性和穩定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外，激光干涉儀的環境條件補償系統(壓力、溫濕度傳感器)的讀數準確性對終的測量精度有著重要的影響。
總結起來，影響激光干涉儀測量精度的因素包括：
1、激光器頻率(波長)及頻率穩定性。
2、測量讀數軟件系統帶來的誤差。
3、反射鏡、角錐棱角誤差。
4、溫濕度、壓力傳感器誤差。
激光干涉儀的使用注意事項：
1、激光干涉儀必須定人保管，機加技術組人員專人，專人送檢，他人不得隨意動用，以防損壞，降低精度。
2、激光干涉儀要設置專庫存放，環境要求干燥、通風、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫，儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。
3、對激光干涉儀要小心輕放，避免強烈的沖擊震動，安置儀器前應檢查三腳架的牢固性，整個作業過程中工作人員不得離開儀器，防止意外發生。
4、激光干涉儀應避免在溫度變化大、有風、潮濕環境下測量，此時檢測結果將收到很大的影響。