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聚創氣相色譜儀

6、壓力流量控制指標
● 壓力、流量測量：指針式壓力表方式、電子壓力流量方式
● 全電子氣體壓力、流量測量系統：單模塊大測量路數：16路
● EPC、EFC工作模式：3種；恒流模式、恒壓模式、分流模式
● EPC、EFC工作氣體：4種；氮氣、氫氣、空氣、氦氣
● EPC、EFC程升：4階
● EPC、EFC控制量程：壓力：0～0.6Kpa；流量0～100sccm或0～500sccm（空氣）；
● EPC、EFC控制精度：壓力0.01Kpa；流量0.01sccm；
● 壓力傳感器：
準確度：滿量程的<±2%
重現性：<±0.05 KPa
溫度系數：<±0.01 KPa/°C
量程：0～0.3KPa或0～0.6KPa；
● 流量傳感器：
準確度：滿量程的<±5%
重現性：<±0.5%(滿量程)
量程：0～500sccm
7、檢測器技術指標：聚創氣相色譜儀

氫火焰離子化檢測器（FID）
● 檢測限：M≤3.5×10-12g/s ，樣品：C16；
● 噪音：≤5×10-13A
● 漂移：≤2×10-13A/30min
● 線性范圍： 107
熱導檢測器（TCD）
● 靈敏度：S≥4000mV.ml/mg(C6H6)（可放大1、2、4、8倍）
● 噪聲：≤10μV
● 基線漂移：≤30μv/30min
● 線性范圍： 104
電子捕獲檢測器(ECD)
● 檢測限：≤1×10-14g/s（-666）
● 噪聲：≤15μV
● 基線漂移：≤20μv/30min
● 線性范圍：104
● 放射源： Ni63
火焰光度檢測器(FPD)
● 檢測限：Mt≤2×10-11g/s； 
● 噪聲：Rn≤50uv； 
● 基線漂移：Rd≤20uv/30min； 
●線性范圍：≥105
氮磷檢測器(NPD)
●Mt≤8×10-13g/s(偶氮苯)；≤5×10-13g/s；
● 噪聲：Rn≤2×10-12A；
● 基線漂移：Rd≤2×10-13A/30min；