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東京精密E-TS-1072B重復(fù)精度標(biāo)定方法

閱讀:1237        發(fā)布時(shí)間:2021-10-9

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 1.G1?G2接觸子間放入微動(dòng)臺(tái)。

 

 2.先移動(dòng)G1接觸子、控制部表示値為行程的一

(-210~-220μm)時(shí)固定接觸子。

 

 3.接著移動(dòng)G2接觸子、控制部表示値μ時(shí)固定接觸子。

 

 4.G1接觸子微動(dòng)臺(tái)間放入1mm的厚度工具取出后確認(rèn)控制部表示値。

 

 5.〔4.〕的作業(yè)重復(fù)25、最大値最小値0.5μm以?xún)?nèi)。

 

 6.G2側(cè)G1側(cè)相同確認(rèn)重復(fù)精度

 

   7.G1側(cè)G2側(cè)任一重復(fù)精度超過(guò)0.5μm時(shí)需再調(diào)整,重復(fù)[1.][6.]的作業(yè)在范圍內(nèi)時(shí)進(jìn)行接下來(lái)的檢查


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