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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
MFC 08常壓在線配氣裝置
■ 產(chǎn)品介紹
MFC 08常壓在線配氣裝置，應(yīng)用高精度質(zhì)量流量計(jì)對(duì)氣體流量進(jìn)行控制，通過高性能氣體混合罐實(shí)現(xiàn)氣體均勻混合，通過軟件可針對(duì)每一路氣體的流量進(jìn)行調(diào)節(jié)和控制，并可進(jìn)行配氣應(yīng)用方案設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)不同時(shí)間段配氣濃度的自動(dòng)調(diào)節(jié)。具備配氣精度高、應(yīng)用靈活、智能化等多個(gè)特點(diǎn)
■ 產(chǎn)品功能
1、1-8組氣體的流量輸出控制
2、2-8組氣體的在線均勻混合
3、配氣方案智能控制，可對(duì)各組氣體流量進(jìn)行程序控制，可使各組氣體流量根據(jù)預(yù)設(shè)程序進(jìn)行調(diào)控
4、多種配氣方式可選
5、可外接各類儀器、反應(yīng)器等
6、混合、獨(dú)立等多種氣路外接方式
7、氣體預(yù)熱功能
8、智能氣路清洗功能
混氣裝置：采用異形氣體混合倉與氣體擾流板技術(shù)
控制系統(tǒng)：全自動(dòng)控制，并可對(duì)配氣方案進(jìn)行程序控制，實(shí)現(xiàn)流量、使用氣體、使用時(shí)間的隨意編程
氣路系統(tǒng)：使用316L不銹鋼管路及卡套式連接方式，使系統(tǒng)耐腐蝕、氣密性好
氣路控制系統(tǒng)：使用日本SMC電磁閥，并為每個(gè)氣路設(shè)置單向閥，已防止氣體逆行，所有電磁閥均由軟件控制配氣方案，可根據(jù)求，實(shí)現(xiàn)對(duì)每組氣體的流量進(jìn)行編程調(diào)整，即流量的多段控制
應(yīng)用氣體：NH3、N2、C3H8、C2H2、C3H4、SO2、CO2、NO2、CH4、Kr、HCl、O2、H2、NO、CO等
流量控制：0~200mL/min、100~500mL/min、500~1000mL/min 可選
工作壓差：(0.1 ~ 0.5) MPa
工作耐壓：3MPa
重復(fù)精度：±0.2%
工作精度：±1%
工作溫度：5 ℃ ~ 45 ℃