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INFICONCrystal12®傳感器
INFICON晶體12傳感器與INFICON IC 6薄膜沉積控制器結合使用時，可自動更換其晶體，而無需中斷過程。晶體不穩定或失效時，IC6會立即向晶體12傳感器旋轉傳送帶發送信號，要求其立即將新晶體旋轉到位，從而實現持續沉積速率監控。
產品簡介
詳細介紹
瑞軒電子科技（上海）有限公司-------*儀器儀表供應商專業提供
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裝有12顆晶體,可進行可靠的自動轉換,從而大限度延長過程運行時間 易于拆卸的旋轉傳送帶允許快速更換所有12顆晶體 晶體轉換由空氣驅動完成(競爭產品是使用生熱電機),因而晶體溫度非常穩定 易于拆卸的前沉積罩保護晶體和旋轉傳送帶上不會積存材料,從而大限度減少拆卸整個傳感器以進行維護的必要性 可選安裝后套件允許用戶根據公制硬件大小自行修改