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iH600愛德華干式泵維修
iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A59020946
技術數據
峰值速度 518 m3h-1
305 cfm
8635 l min-1
極限真空 2 x 10-3 mbar
1.5 x 10-3 Torr
0.2 Pa
典型軸封氮流量 4 slm
進氣口連接 ISO100
出口連接 NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量 240 l h-1
4 l min-1
重量 415 kg
極限功率輸入 3.1 kW
電機額定功率 5.1 kW
油容量 1.43 l
功能和優勢
優化了設施消耗。
無需預防性維護。
懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。
在節省電機功率的同時大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機聯結器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積
概述
Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時大程度地減小占地面積、降低運行成本，實現了高的可靠性和性能。
iH 系列為難以執行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
應用
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
東莞市鴻鑫真空設備有限公司專業維修愛德華iH系列，iXL系列等干泵
iH600愛德華干式泵維修
