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漢鐘干式真空泵包括中國臺灣漢鐘干式螺桿式真空泵和中國臺灣漢鐘干式多級羅茨真空泵

PDR系列包括機型漢鐘真空泵PDR100，漢鐘真空泵PDR602，漢鐘真空泵PDR1202漢鐘干式真空泵PS系列包括機型 漢鐘真空泵PS80，漢鐘真空泵PS160，漢鐘真空泵PS180，漢鐘真空泵PS602，漢鐘真空泵PS902,漢鐘真空泵PS1202中國臺灣漢鐘真空泵.PS系列產(chǎn)品特點

 螺旋真空泵浦產(chǎn)品特色

 漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉(zhuǎn)子，在轉(zhuǎn)子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉(zhuǎn)時腔體內(nèi)無需潤滑，因而無油氣回漏污染的問題。透過轉(zhuǎn)子線形良好的密封效果，壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強，加上轉(zhuǎn)子表面披覆特殊材質(zhì)的鍍膜，因此可適用于PECVD、Etching等嚴苛制程。 泵浦溫度控制精準。漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦，承襲上一代真空泵浦優(yōu)良的轉(zhuǎn)子設(shè)計，同時改善殼體的冷卻方式，采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度，能夠更精準地控制泵浦內(nèi)部溫度，減少沉積物的產(chǎn)生，增加真空泵浦的壽命。

密封馬達安全性高 PS系列真空泵浦亦全面采用設(shè)計的水冷罐裝密封馬達，除了能維持更低的馬達運轉(zhuǎn)溫度增加馬達的壽命外，也可*避免制程氣體外漏的風(fēng)險。

微電腦控制保護周全 PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器，可同時監(jiān)控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低，提供真空泵浦完整的安全性保護，十分適用于光電、半導(dǎo)體、太陽能與TFT-LCD等產(chǎn)品穩(wěn)定性要求*之產(chǎn)業(yè)。

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