臭氧分析儀采用原電池微庫侖原理制造。儀器具有靈敏度高、測量快速、穩定等特點。臭氧分析儀共分為高濃度臭氧分析儀( 0～100mg/m3 )及低濃度臭氧分析儀( 0～4mg/m3 )二種規格。低濃度臭氧分析儀適用于對環境大氣濃度的監測及臭氧發生源，高濃度臭氧分析儀適用于臭氧發生器制造企業檢測產品的臭氧發生濃度，各衛生防疫部門對臭氧殺菌消毒產品的檢測。
臭氧分析儀在檢測中應注意的事項：
1.采樣管材料應選用抗強氧化的材料,如玻璃、聚四氟乙烯、聚偏二氟乙烯;不銹鋼材料也盡量少用,以減少采樣管中臭氧損耗。
2.采樣管應盡量短,測量低濃度時一般不要超過2m。
3.從采樣管到檢測儀器,不要漏氣,否則測量值偏低。
4.檢測較低濃度(如檢測環境)臭氧時,新的聚四氟乙烯管也要充分的進行“臭氧化”,即通過含較高濃度臭氧的氣體來穩定采樣管內壁.日本荏原公司認為要20min以上才能穩定,而美國莫尼特公司要求數小時。
5.采樣管要定時清洗、吹干.不清潔的采樣管會使測量值偏低很多。
6.臭氧分析儀要定時進行標定,以保證測量數據可靠。
