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Entegris FV-50DI擴散器WG3D50DR2優勢簡介
閱讀：365 發布時間：2022-3-30Entegris FV-50DI擴散器WG3D50DR2優勢簡介
功能和優點
燒結鎳技術
在一個緊湊的擴散器單元中
提供的性能
在所有應用中
去除大于
距離進氣0.0015µm
最小化晶圓上的缺陷
易于安裝/改裝到
現有工具
最大限度地減少停機時間（包括
加載鎖室，冷卻
錢伯斯，轉移錢伯斯
（和工藝室）
制造、測試和測試
包裝在潔凈室
確保產品的清潔度
安裝時間
快速排氣，溫和流動
大氣
減少循環時間，增加
吞吐量和OEE
額定循環次數為100000次
換衣服之前
穩健高效
尚伯加德™
快速排氣擴散器
減少空氣中的顆粒和排氣時間
負載鎖定和傳輸室
尚伯加德™ 快速排氣擴散器是可靠排氣的選擇
通過最小化負載鎖定通風循環來提高系統吞吐量
時間這些擴散器向大氣快速排氣
無需干擾或向腔室中的晶片添加顆粒。
它們結合了擴散器的流動特性和高流動性
高效過濾器可提高效率和吞吐量
IOVENZANA 速優源品質PL005021
速優源品質
Italvibras 速優源品質MVSI3/800-S020.65KW 380V 3000HZ 0.09mm
TOSRAKOVNIK 速優源品質TR1-04T-1
EMG Automation 速優源品質EB800-60 II NR.199308
PHOENIX CONTACT 速優源品質TYP DEK1.5 DEK-REL-24/1/1 Art.Nr.:2940171
JAQUET 速優源品質1810.00S1TV
速優源品質
ODE 速優源品質BDV08230AY
JETTER 速優源品質JL3-0250-25-3RVBS-A
速優源品質
SCHRACK 速優源品質ZR 058290
速優源品質
速優源品質
voss 速優源品質G1/8 17 84 22 20 00
Gneuss 速優源品質MT102B50Z004800 DAI-2E2-12A-B50Z-S0-F5-R-W-6P
速優源品質
PCH 速優源品質PCH 1270/CHF8004
ENGLER 速優源品質ANM-25.305.2,5
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